Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme

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Herstellung, Vertrieb und Service von Plasmaätzanlagen (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation. Genaueres entnehmen Sie bitte aus dem Lastenheft.

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Source : TED — Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Informations clés

Acheteur public: Max-Planck-Institut für Struktur und Dynamik der Materie
Pays: Allemagne · DE600
Publié: 25 mars 2026
Procédure: Procédure restreinte; Échelle UE (au-dessus des seuils)
Langue d'origine: de
Codes CPV: 31712000 31720000 38000000

Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme – Reactive ion etcher

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