Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme

Descripción

Herstellung, Vertrieb und Service von Plasmaätzanlagen (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation. Genaueres entnehmen Sie bitte aus dem Lastenheft.

Fuente oficial

Fuente: TED — Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Datos clave

Órgano de contratación: Max-Planck-Institut für Struktur und Dynamik der Materie
País: Alemania · DE600
Publicada: 25 mar. 2026
Procedimiento: Procedimiento restringido; Ámbito UE (sobre umbral)
Idioma original: de
Códigos CPV: 31712000 31720000 38000000

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