Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme

Descrizione

Herstellung, Vertrieb und Service von Plasmaätzanlagen (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation. Genaueres entnehmen Sie bitte aus dem Lastenheft.

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Fonte: TED — Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Dati principali

Stazione appaltante: Max-Planck-Institut für Struktur und Dynamik der Materie
Paese: Germania · DE600
Pubblicata: 25 mar 2026
Procedura: Procedura ristretta; Scala UE (sopra soglia)
Lingua originale: de
Codici CPV: 31712000 31720000 38000000

Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme – Reactive ion etcher

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