Skip to content
Licitop.eu

België – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) – PVD toestel voor MRAM

Awarded Contract award No deadline published Save

Description

de aankoop van een toestel voor het PVD Toestel voor MRAM Een 300mm wafer compatibel, multi-chamber PVD platform ontworpen voor hoge doorvoer van magnetische tunnelkruisingen. Daarnaast moeten de volgende PVD en proceskamerontwerpen worden ondersteund: 1. Multi-kathode PVD-kamer 2. Een voorreinigingskamer om native oxiden en andere verontreinigingen te verwijderen 3. Ontgassing/annealing mogelijkheden 4. Een cryogene trap (<100K) optie in, of ex situ van de PVD-modules. Bovendien moet het platform compatibel zijn met Front Opening Universal Pods met een capaciteit van 25 sleuven, inclusief een Equipment Front End Module en load-lock systeem voor waferinvoer. Ten slotte moet de depositie computerbestuurd en geautomatiseerd zijn volgens gedefinieerde recepten. Als optie moet het platform compatibel zijn met automatische receptupload vanuit fab management software via een gestandaardiseerd protocol, bijvoorbeeld SECS/GEM.

Official source

Source: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Always verify details on the official notice.

View the official notice

More from this buyer

Full buyer profile

13 open tenders right now

Recent awards

Similar tenders

Never miss a tender like this

Get an email for new tenders matching: Laboratory & precision equipment · Belgium. Free.

Set up my alert