België – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen)

Description

de aankoop van een toestel voor het PVD Toestel voor MRAM Een 300mm wafer compatibel, multi-chamber PVD platform ontworpen voor hoge doorvoer van magnetische tunnelkruisingen. Daarnaast moeten de volgende PVD en proceskamerontwerpen worden ondersteund: 1. Multi-kathode PVD-kamer 2. Een voorreinigingskamer om native oxiden en andere verontreinigingen te verwijderen 3. Ontgassing/annealing mogelijkheden 4. Een cryogene trap (<100K) optie in, of ex situ van de PVD-modules. Bovendien moet het platform compatibel zijn met Front Opening Universal Pods met een capaciteit van 25 sleuven, inclusief een Equipment Front End Module en load-lock systeem voor waferinvoer. Ten slotte moet de depositie computerbestuurd en geautomatiseerd zijn volgens gedefinieerde recepten. Als optie moet het platform compatibel zijn met automatische receptupload vanuit fab management software via een gestandaardiseerd protocol, bijvoorbeeld SECS/GEM.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Consulter l'avis officiel

Plus de cet acheteur

Profil complet de l'acheteur

13 marchés ouverts actuellement

België – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) – TDV ETCH Aucune date limite publiée
België – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) – WAFER-COMPATIBELE PLASMA GEFOCUSTE IONENBUNDEL-SCANNING ELEKTRONENMICROSCOOP (PFIB-SEM) SYSTEEM Aucune date limite publiée
België – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) – 300 MM WAFER PLATFORM WITH SINGLE WAFER CHAMBERS CVD SI/POLY+ RTO/RTA Aucune date limite publiée

Attributions récentes

België – Speciale software voor de industrie – Virtual Compute Platform
attribué à ASML · 0 €
België – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) – Advanced Lithography EUV Scanner
attribué à ASML NL · 0 €
België – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) – toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica
attribué à LAM · 0 €

Marchés similaires