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Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers

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Standard Cleaning Batch Tool for 130 nm Technology on 200mm Si wafers

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Source: TED — Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Buyer: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Country: Germany · DE403
Published: 7 Jan 2026
Winner: AP&S International GmbH
Procedure: Open procedure; EU-wide (above threshold)
Original language: de
CPV codes: 31712100