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Deutschland – Optische Mikroskope – Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
awarded to Raith B.V.
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Deutschland – Trockenätzausrüstung – Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
awarded to Oxford Instruments GmbH
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Deutschland – Trockenätzausrüstung – Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
awarded to Plasma Therm Europe
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