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Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – maskenloses UV-Direktlithographie-System
aggiudicato a Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH · 190.785 €
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Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Kryostat mit optischem Zugang und magnetischem Feld
aggiudicato a PASQAL SAS · 191.825 €
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Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Läpp- und Poliersystem
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