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Deutschland – Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte – Herstellung, Vertrieb und Service von Rasterelektronenmikroskopen und/oder Elektronenstrahllithographie-Systemen

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Descrizione

Es ist beabsichtigt, ein Scanning electron microscopy (SEM) system with integrated elect-ron beam lithography (EBL) zu beschaffen. Nähere Einzelheiten sind den Vergabeunterlagen, insb. Im Lastenheft zu entnehmen.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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