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Deutschland – Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte – Herstellung, Vertrieb und Service von Rasterelektronenmikroskopen und/oder Elektronenstrahllithographie-Systemen

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Descripción

Es ist beabsichtigt, ein Scanning electron microscopy (SEM) system with integrated elect-ron beam lithography (EBL) zu beschaffen. Nähere Einzelheiten sind den Vergabeunterlagen, insb. Im Lastenheft zu entnehmen.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

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