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Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – maskenloses UV-Direktlithographie-System
attribué à Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH · 190 785 €
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Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Kryostat mit optischem Zugang und magnetischem Feld
attribué à PASQAL SAS · 191 825 €
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Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Läpp- und Poliersystem
attribué à Struers GmbH · 129 786 €
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Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
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