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Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Dual Beam

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Beschreibung

Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm in allen 3 Dimensionen.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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