Przejdź do treści
Licitop.eu

Switzerland – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Otwarty Ogłoszenie o zamówieniu Zostało 31 dni Zapisz

Opis

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube up to 1250°C); – Tube 2: LPCVD stoichiometric Si3N4 layers for photonic applications and low-stress SiNx layers for membrane fabrication; – Tube 3: LPCVD TEOS-based SiO2 layers; – Tube 4: LPCVD polycrystalline and amorphous Si. The MTPF shall be installed through the wall, with the loading station on the cleanroom side and the remaining equipment (furnaces, electronic racks, gas cabinets, pumps and related infrastructure) on the gray room side. It shall be capable of 24/7 operation with a guaranteed uptime of at least 90% and a minimum 2-year warranty.

Oficjalne źródło

Źródło: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Zawsze weryfikuj szczegóły w oficjalnym ogłoszeniu.

Zobacz oficjalne ogłoszenie

Więcej od tego zamawiającego

Pełny profil zamawiającego

5 otwartych przetargów w tej chwili

Ostatnie udzielenia

Podobne przetargi

Kontekst rynkowy

Śr. otwarty przetarg · Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny
5 866 415 €
1,916 otwartych teraz w Europie
Historia zamawiającego w Licitop
15 zarejestrowanych ogłoszeń · 5 udzielonych
2 609 482 € w udzielonych zamówieniach

Nie przegap przetargów takich jak ten

Otrzymuj e-mail o nowych przetargach: Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny · Szwajcaria. Za darmo.

Ustaw mój alert