Italia – Strumenti ottici specialistici – Gara europea a procedura aperta, suddivisa in n. 2 lotti, per fornitura e installazione di attrezzature per il potenziamento della Micro Nano Facility della Fondazione Bruno Kessler nell'ambito dell'Iniziativa Progetto IPCEI Microelettronica 2 MC2 Lotto 1: Sistema stepper per litografia KrF Lotto 2: Sistema di coating e sviluppo per processi litografici

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