Deutschland – Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen – Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes

Descrizione

Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes

Fonte: TED — Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Stazione appaltante: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Paese: Germania · DE403
Pubblicata: 27 mar 2026
Aggiudicatario: ASM Europe B.V.
Procedura: Procedura aperta; Scala UE (sopra soglia)
Lingua originale: de
Codici CPV: 42940000 42942000