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Deutschland – Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft – Ionenstrahltrimanlage

Vergeben Vergabebekanntmachung Keine Frist veröffentlicht

Beschreibung

Ausgeschrieben wurde eine Ionenstrahltrimmanlage, die im Reinraum des PhoQSLabs der Universität Paderborn betrieben werden soll. Dort wird es die Aufgabe der Maschine sein, photonisch integrierte Schaltkreise in der Dicke zu trimmen. Weiterhin soll die Anlage unterschiedlichste Wafer auf Dicke trimmen, sodass weniger als 1nm Dickenabweichung pro Wafer realisiert werden können.

Amtliche Quelle

Quelle: TED — Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

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