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Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Maskenlose Lithographie

Vergeben Vergabebekanntmachung Keine Frist veröffentlicht

Beschreibung

Lithographiegerät für maskenlose submikrometer Strukturierung von photoempfindlichen Polymeren

Amtliche Quelle

Quelle: TED — Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zur amtlichen Bekanntmachung

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Eckdaten

Auftraggeber: Technische Universität München
Land: Deutschland · DE21H
Veröffentlicht: 25 Mär 2026
Zuschlagsempfänger: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH; 440.000 €
Verfahren: Verhandlungsverfahren; EU-weit (oberhalb des Schwellenwerts)
Originalsprache: de
CPV-Codes: 38000000